当前位置:网站首页 > 新闻中心 > 白光干涉在干涉光学轮廓仪使用中具有宽带可见光谱

新闻中心

白光干涉在干涉光学轮廓仪使用中具有宽带可见光谱

发布时间:2019-09-17   点击次数:11次
  光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。主要对各种产品、部件和材料表面的平面度、面形轮廓、磨损情况、表面缺陷、粗糙度、波纹度、腐蚀情况、台阶高度、孔隙间隙、加工情况、弯曲变形情况等表面形貌特征进行测量和分析。

光学轮廓仪


 
  我们都知道:光学轮廓仪基于白光干涉扫描技术,用于样品表面显微镜检查。精密仪器测量的显着特点是它可以达到纳米级的检测精度,并能快速获取待测工件表面的三维形状和数据。其主要目的是用于成品的质量管理,以确保良好的产量。
 
  光学轮廓仪使用宽带光源照明,其工作形式类似于一个光学聚焦传感器阵列,每个传感器上接收到的干涉信号的位置决定了较佳的聚焦位置。使用宽带照明克服了在单波长甚至是多波长技术中存在的局限性。WLI方法由于在MEMS元件、二元光学元件及机械加工表面等工程表面测量中的应用,早巳确立了它在光学轮廓仪中的引导地位。WLI的垂直分辨力依赖于对信号的分析,它和单波长PSI方法(0.3nm)几乎一样好,但是通常情况下在3nm附近。这里垂直分辨力的定义是在光滑样品上测量差值的均方根(RMS)。
 
  白光干涉在干涉光学轮廓仪中使用的白光光源具有宽带可见光谱,波长从380~750nm(紫外光到红外光)。由于波长带宽很大这种光源的时间相干性低,并且不能将其看做点光源,也就意味着它的空间相干性也很低。光源很低的时间和空间相干性使得所产生的干涉条纹局限于空间上。为了在zui佳聚焦位置获得干涉条纹,参考镜的位置也需要设置在物镜较为合适的聚焦点。这可以分三个步骤:首先,将参考镜从焦点处移开几个或者几十个微米;其次,将物镜聚焦在具有一些特征的检测对象上,比如说锐利而不太高的台阶上(此时还看不见条纹);
上一篇 : 客户见证—德国LAUDA纤维接触角测量仪入驻河南大学材料学院    下一篇 :  接触角测量仪阿莎算法的重要作用

分享到:

返回列表

北京东方德菲仪器有限公司主营产品:在线接触角测量仪,德国接触角测量仪,进口接触角测量仪,国产接触角测量仪,接触角张力测量仪
版权所有 地址:海淀区紫竹院路69号兵器大厦1010室 网站地图
备件销售电话 Tel:010-68920257/75/76/77 传真 Fax:010-68729983 邮编:100089 电子邮箱 E-mail:mary_wang@edcc.com.cn
京ICP备05028011号-2 返回首页 管理登陆 技术支持:化工仪器网

联系人
在线客服
用心服务成就你我